凡在机械泵的抽气旋道内无一切液体工作中物质或密封性物质的在夏泉  无油泵可让被抽器皿内得到 清理真空泵,在排气管时不环境污染,是一种很有发展前景的机械泵  无油往复泵关键用在半导体材料工业生产、医药业、表层科学研究和食品产业等行业。  设计方案无油往复泵的关键是活塞环和密封圈或卡套接头的自润滑原材料。现阶段应用数较多的是添充  聚四氟乙烯原材料
添充聚四氟乙烯由聚四氟乙烯(PTB  多种填充料构成,如炭纤维、玻纤、青铜粉、石  墨、二硫化钼等按一定占比构成的化合物,历经抑制  煅烧后,可生产加工成活塞环。这类活塞环延展性不错,不  易断裂,物理性质平稳,耐热达250℃,超低温达  00℃,能够在金属表层 产生一层塑料薄膜,摩擦阻力  小,因此具备优良自润滑性能。  炭纤维提高聚四氟乙烯(CFRP)是一种新起的密  图7-14无十字头往复泵平面图
原材料,其耐磨性能、耐温性、抗压强度及弹性模具均高过  别的添充聚四氟乙烯,自润滑性能出色,较近几年发  展迅速  为降低活塞杆处的旋转密封,无油往复泵常选用无十字头的构造,如图所示7-14所示。这类  构造使泵的规格和净重都减少了,成本费减少了,但在曲轴箱通风外需真空包装,发动机曲轴外伸端务必选用  无油机封  为减少往复泵的極限工作压力,英国瓦里安( Varian)企业开发设计出一种三级往复泵,如图所示7-15  所显示。它是由四个梯形活塞和四个梯形气缸构成,活塞的反面是小直徑一部分,活塞的反面  室内空间由次级线圈活塞抽真空,以降低泄露减少極限工作压力。每一个气缸都是有旁通阀和自动排气阀。这四个活塞，真空泵维修。