为了更好地考虑极高真空泵分压力精确测量的应用规定，作业者应依据质谱计关键性能指标  挑选适度的仪器设备。真空泵质谱计的性能指标一般包含：质量范围、分辨本领、分压力  敏感度、较少可检分压力、较大 工作中压力、扫描速率和较少可检浓度值等项。  (1)质量范围  质量范围就是指质谱记到具备一定敏感度和分辨本领的标准下，仪器设备可以工作中的  较少质量数到较大 质量数中间范畴，用质量数M表明。质量范围的低限是用真空泵  系统软件残留汽体的谱峰来明确，一般，采用分子态氢氧根离子的质量数M=1u列入品质  范畴低限(较少质量数)。质量范围限制是用精确测量试品汽体谱来明确，试品汽体应  尽可能挑选含量(或相对原子质量)贴近质量范围限制。在沒有适度试品汽体时，可依照  质谱计的品质扫描主要参数和品质平均误差的关联，依据扫描主要参数的标值用外推方式测算  出去
在极高直空分压力精确测量中，质借计此项指标值的挑选是根据被测汽体成分而明确  的，必须考虑到极高真空泵的残留汽体和被检试品汽体成分的含量尺寸2个要素。质  量范畴的低限应确保对H2的M=1u的品质峰靠谱精确测量质量范围限制的挑选根  被测汽体的较大 质量数明确，极高真空泵的残留汽体精确测量的较大 质量数挑选M=  50u就可以了。假如必须检验甲苯、苯等少量残留气，仪器设备的质量范围限制应挑选  M=100u,对氙气的精确测量必须挑选质谐计的质量范围限制M=150u
(2)分辨本领  分辨本领是定性分析质谱计辨别质量数M和M+△M2个邻近质谱峰的工作能力，通  常见M/△M表明，△M被称作肯定屏幕分辨率，用质量数M峰的某高宽比处的峰的总宽表明。真空泵质谱计一般在10%或50%峰高空精确测量△M。  用以极高超滤装置分压力精确测量对分辨本领规定不高，一般△M=1(10%峰  高)就可以了。为了更好地简单化定量分析精确测量用峰高意味着该成分抗压强度，规定质谐计在质量范围内为恒峰宽，即分辨本领△M稳定。
(3)分压力敏感度(敏感度)  质谱计敏感度界定为：輸出离子流变化量△I除于造成这类转变的汽体分压力转变值△P。敏感度的表明方式有二种：  第一种方式选用企业压力的离子流表明，企业为A/Pa,该方式是固定不动一定发送电流量，数不胜数值；  第二种方式选用企业搜集电子流和企业压力的离子流表明，企业为1/Pa。  一般质谱计敏感度和分辨本领、扫描速率等别的主要参数相关，因而精确测量质谱计灵  敏度时要要求质谱计工作中主要参数。除此之外，敏感度遭受电级环境污染、倍增器增益值衰减系数、灯  丝部位转变的危害而转变，因此 在开展分压力精确测量时，务必对敏感度开展按时校  准。极高真空泵分压力精确测量应尽可能挑选敏感度高的质谱计。
(4)较少可检分压力  此项指标值标征质谱计敏感度、离子流检验、离子流纪录等综合能力。一般用公

式(4-14)来表明。  (4-14)  Pin=2IN/S

式中 Pmi  较少可检分压力  ⅠN—离子流监测系统纪录到的本底噪音，A;  S质谱计敏感度，A/Pa。  噪音是由虚报的輸出标示造成的零輸出基准线的迅速转变，噪音能够依据要求进
一般质谐计较少可检分压力的性能指标和正离子搜集方法相关。选用法拉第筒收  行检测  集和倍增器搜集的质谱计，可得出2个较少可检分压力标值：一个为法拉第正离子收  集方法下较少可检分压力；另一个为倍增器正离子搜集方法下较少可检分压力。增长  器搜集的较少可
的品质分离出来作用、离子源具备一定的正离子产额、钨丝能够一切正常工作中，  压力关联有很大线形偏移。对用以分压力精确测量的质谱计，较大 工作中压力被界定为  在压力范畴内，离子流与压力呈线型关联。极高真空泵精确测量质问诮计此项指标值规定不

严苛。
(6)扫描速率  根据更改品质扫描主要参数，使质谱记到全部质量范围内开展品质扫描。扫描速率  可以用单位时间内得到 的质量数(u/s)表明，还可以用扫描一个品质所需時间  (s/u)来表明。质谱计扫描速率和解析器的工作类型及相对的电子器件操纵路线有非常大  关联，如航行時间质谱计是依据说白了“渡越時间”的基本原理开展品质分离出来的，在老秒  或更短期内内，能够进行一次谱峰扫描。而磁偏转真空泵质谱计，品质扫描是根据改
变正离子导入工作电压完成的，工作电压值一般为好几千伏，因而扫描速率不可以太快。四极质谐
计品质扫描是根据更改释放在电级上高频率工作电压幅度值完成的，具备迅速的扫描速率  作业者应依据实际应用目地挑选仪器设备此项指标值。
(7)较少可检浓度值
此项指标值是定性分析质谱计对混合气中可精确测量到某类较少成分的主要参数，一般用压  力成绩P小/P全来表明。式中的P为混合气中某类成分的较少分压力，p全  为混合气的全压力。在一些独特应用的场所中，规定质谱计能得出某类汽体成分  的摩尔分数或压力成绩(浓度值),如室内空间原材料在室内环境排气特性精确测量中，对一些  有害物质浓度值检验期待检验到有害物质的摩尔分数低于1×106(1ppm)。这时仪  器的使用人应将较少可检浓度值的指标值做为关键考虑到根据。需注意挑选在大正离子峰  周边检验细微数据信号峰具备优良作用的仪器设备
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