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涡轮增压分子泵工作中特点具体表现在以下好多个层面 (1)抽速与转速的关联 抽速与转速大概有
S
(4-67) 的关联。在其中:g是决策于几何图形样子的参量;u为动叶子的转速。评测結果如图4-61所显示 即抽速随转速的提升比平行线偏慢。这可由抽速高时进气口道流导的限定功效来表述,依式 (4-66),S将随S1扩大而偏移平行线。 (2)抽速与進口压强的关联 分子泵在分子流的压强范畴内,其抽速基本上不会改变。由于分子流时流导C与压强不相干; 又依式(4-65),S1只决策轮叶样子、转速及汽体类型,也与压强不相干。故依式(4-66),实 际抽速也就与压强不相干。但当压强提高到不符合分子流标准时(约为2×101Pa),因为大 一部分分子与轮叶不可以立即撞击,抽速因而快速降低。如图4-62中的右侧一部分,曲线图1、2、3 相匹配不一样的前面泵
(3)压缩比与转速及相对性分子品质的关联 压缩比与转速及相对性分子品质的平方根有指数值关联
(G
(4-68 K 式中,G为决策于几何图形样子的主要参数 评测結果与式基础合乎。如图4-63所显示
为压缩比,在其中:p表明前面泵口的压 力,力。表明分子泵通道工作压力。同一转速下,大汽体分子压缩比大,極限真空泵高,轻汽体分 子,压缩比小,極限真空泵低,即分子泵極限真空泵中以轻分子为主导;也就是说,分子泵抽除像 氡气、氦气等轻分子的能力较差。分子量大的汽体,压缩比较高。它是涡轮增压分子泵能用来得到 清洁真空泵的物理学基本。 (4)压缩比与前面压强的关联 一般分子泵挑选真空泵做为前面泵,当今级压强考虑一定规定时,分子泵工作中平稳,压 缩比维持参量。如图所示464所显示,当今级压强升高到1Pa时,小质量数的分子压缩比刚开始下 降,当今级压强升高到数十帕时,压缩比骤降,分子泵便不可以一切正常工作中。
(5)抽速与汽体类型的关联 抽速与汽体类型如同图4-65所显示的关联,即随的转变比平行线略慢。这是由于在转速 定时执行,P大的汽体虽然其速度比率大,因此轮叶的何氏指数大,但他们在进气口道的流导 都因扩大而减少。二者综合性的結果使S与v的关联转变迟缓
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