进行真空系统检漏时，可以采取以下步骤：

准备工作：关闭真空系统的所有阀门和泵，确保系统处于封闭状态。检查真空系统的密封件和连接部件，确保其完好无损。

压力测试：使用气体或氦气充入系统，增加系统内部的压力。同时，使用压力表或检漏仪器监测系统内部的压力变化，观察是否存在漏气现象。

检查连接部件：仔细检查系统的连接部件，包括法兰、接头、密封垫等。使用肉眼或手触来观察是否有气体泄漏的迹象，如气体冒泡、气味或气体流动的现象。

检查真空泵：检查真空泵本身是否存在漏气现象。可以使用气体或氦气对泵进行测试，观察泵的入口和出口是否有气体泄漏的迹象。

使用检漏剂：将检漏剂涂抹在可能泄漏的部位，如连接处、阀门、接头等。观察检漏剂是否出现冒泡或颜色变化，这表明有气体泄漏。

使用检漏仪器：使用专业的检漏仪器进行检测。这些仪器可以检测微小的气体泄漏，并给出准确的结果和指示。根据仪器的使用说明，按照指示进行操作和观察。

修复漏点：如果发现漏点，需要及时修复。可以更换密封件、调整连接部件、紧固螺丝等，确保系统的密封性和完整性。

重新测试：修复漏点后，重新进行测试，确保系统没有漏气。重复进行压力测试、检查连接部件和使用检漏剂等步骤，确保系统的可靠性。 

请注意，以上是一般的真空系统检漏步骤，具体的检漏方法和工具应根据实际情况和设备要求来选择和使用。在进行检漏操作时，应遵守相关安全规定，并参考设备的操作手册和使用说明。

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