阿特拉斯真空泵的常见类型是什么？

阿特拉斯真空泵是一种非常重要的真空设备。根据真空生产原理，可分为体积真空泵（如液体环泵、螺杆泵、罗茨泵等）；动态传输真空泵（如分子泵：喷射真空泵：扩散泵）；气体捕获真空泵（如钛升华、锆铝合金吸泵、低温泵溅射离子泵、热蒸发钛升华泵等）。

真空通常由专用抽气机获得，其气体稀薄度由真空计测量。大气压力为1×10-14pa高真空度。真空技术广泛应用于芯片制造、太阳能电池制造、光学薄膜制造、电真空仪器、电子管等电子仪器。

阿特拉斯真空泵的常见类型是什么？它们各自的发展趋势是什么？

1.水环真空泵是一种易燃、易爆、腐蚀性气体、含尘、潮湿气体的变量泵。本实用新型结构简单，维护方便，磨损小，安全性高，输送气体无污染。水环泵的主要原料是铸件，加工简单，属于劳动密集型产品。因此，与进口泵相比，它具有价格优势，目前应用广泛。目前，国内生产企业应主要从减肥、体积、能耗、效率等方面提高产品。

旋片式真空泵是真空获取的基本设备之一。它是一种油封机械真空泵，适用于真空包装、真空成型、真空吸入等封闭系统中的气体提取，具有体积小、重量轻、噪音低、真空度高的优点。旋叶泵技术上已达标，价格远低于进口泵，具有一定的竞争优势。需要解决的主要问题是叶片材料、轴封漏油等，以及抽汽叶片泵的开发。

3.滑阀真空泵是一种油密封变量真空泵，可用于提取含有少量气体的普通气体或冷凝气体。与旋片泵相比，工作压力高(104pa)、抽气量大，在恶劣条件下使用，经久耐用。主要用于真空熔炼、真空干燥、真空浸渍、真空蒸馏等领域。由于铸造工作量大，加工工作量大，许多外国制造商希望与国内真空泵企业合作。为了加快进口产品的更新，国产滑油泵需要优化其产品，以减少振动和噪音，防止喷油和漏油。

4.干式螺旋真空泵是阿特拉斯真空泵系列下的一种新型设备，具有可靠性高、使用寿命长、动平衡性能好、适应性强、多相混输等特点。它能去除腐蚀性、有毒性、含尘气体和冷凝蒸汽。干泵广泛应用于半导体工业、化工、薄膜工业等，这三个行业的需求是推动干泵市场的主要动力。在欧美半导体行业，约有一半的企业使用干式真空泵代替油封机械泵。进口干式泵主要用于我国半导体行业。因此，应加强国内干式真空泵的研发，使其成为我国真空产业新的经济增长点。