真空设备设计注意事项

1.真空设备的总允许漏率根据设备的工艺要求确定，每个组件的较大允许漏率根据总漏率确定。

2、初步确定设计阶段将采用的泄漏检测方法，并将其作为指导调试验收的基本原则之一。

3.根据设备或部件的较大允许泄漏指标，确定设备的密封、连接方式和整体加工精度，以及能够满足要求的动态密封形式。例如，法兰用金属或橡胶密封。

4设计容器结构强度时，应考虑被检件的耐压性和结构强度。

5.在选择零件结构材料时，考虑是否使用可能被工作介质和泄漏气体腐蚀损坏的材料。

6.在结构设计中，应在容器或系统上留下必要的泄漏检测仪器备用接口，以便在设备组装和调试过程中使用泄漏检测。特别是对于大型复杂的管道系统，通常需要采用分段泄漏检测方法。因此，应在管道上设置分段隔离阀，并在每个隔离段上预留泄漏检测仪器接口。

7、在设计零件结构时，尽量避免使用可能干扰泄漏检测的设计方案。例如，真空室内的螺钉孔不能采用盲孔的形式，因为螺钉安装后，螺钉孔内剩余空间的气体只能通过螺纹间隙逸出，形成虚拟泄漏。从而延长系统的排气时间，干扰泄漏检测的正常进行。如图所示，真空泄漏检测中不应出现的结构。

8.类似地，结构设计中不允许连续双面焊缝和多层密封圈结构，因为寄生体积中的气体在中间形成虚拟泄漏；当内外焊缝或密封圈同时泄漏时，寄生体积使泄漏气体通过双层焊缝响应时间过长，无 常检漏。

9.在设计焊接结构时，尽量减少总装后无法检漏的焊缝。