油扩散泵是高超滤装置常常应用的泵种,采用一些技术措施,能够得到 超高真空泵,其方  法有以下几类  (1)采用特性好的扩散泵油  泵油对油扩散泵極限工作压力危害非常大,如应用3号扩散泵油,其極限工作压力只有做到10-5  Pa,而改成了275甲基硅油,其極限工作压力能做到10-Pa,極限工作压力提升 两个量级。次之被抽  汽体的分工作压力也随泵油的不一样而转变,这就是泵油成份产生的危害。因此用食油扩散泵得到 超  高真空泵,务必挑选特性好的扩散泵油。对扩散泵油的规定是:泵油的相对性含量要大,常温下  下的蒸汽压要低,耐热性和抗氧化好些,凝点和超低温粘度要低、要无毒性、抗腐蚀、成  本要低。扩散泵油的技术参数见表4-38所示。

如今高真空泵油扩散泵广泛选用3号扩散泵油,超高真空泵选用甲基硅油,规定没有氮氧化合物  的超高超滤装置,扩散泵选用氟油。  (2)选用有效的烘烤技术性  用食油扩散泵得到 超高超滤装置都开展高溫烘烤,目地是降低原材料的排气速度。原材料在大  标准气压下都能消化吸收和吸咐一些汽体,当处在真空泵里时,便造成解析,使汽体迟缓地释放出,
为了更好地加快解析,选用姒烤  原材料的不一样,挑选的烘烤温度也不一样,标准是温度高一些好,能够加**气,但也要考  虑到原材料是不是能承受得往高溫,烘烤温度要挑选适合。一般金属复合材料,如不锈钢板,烘烤温度  为250~450℃,非金属材质烘烤温度为80~100℃,烘烤時间4-8h之上。极高真空泵的烘烤  時间在24小时之上。典型性金属材料油扩散泵系统软件(烘烤后)的特性和金属材料油扩散泵超高超滤装置中  剩下汽体成分见表4-37和表4-39所显示。
(3)提升冷阱设备避免 泵油反流和转移  泵油根据泵的通道流入被抽器皿的状况称为反流。油分子结构顺着器皿壁挪动进到被抽器皿  壁的状况称为转移。不管反流或者返转移都是会危害超滤装置的極限工作压力。冷阱普遍用以超高  超滤装置,它装在泵通道和被抽器皿(亦称真空系统)中间,不但能合理地收集扩散泵的反流  蒸汽及一部分分裂解物,并且可抽除来源于真空系统的蒸汽。配有各种冷阱的超高超滤装置,历经  完全的高溫烘烤去气后,可得到 10-8~10-10Pa(或高些)的超高真空值。常见的冷阱是液  氮冷阱,由于在液态氮温度下,泵油的蒸汽工作压力大大的小于超高历经完全的高溫烘烤去气后,可  得到 10-8~10-10Pa(或高些)的超高真空值。常见的冷阱是液态氮冷阱,由于在液态氮温度下  泵油的蒸汽工作压力大大的小于超高真空值的规定。但设计方案液态氮冷阱时务必确保根据阱的分子结构都是会碰  到凉面上,另外阱的构造要有效。装上液态氮冷阱后,油扩散泵的泵效减少不高过40%  (4)降低被抽汽体反外扩散  被抽汽体反外扩散是限定扩散泵得到 高真空泵要素之一。汽体反外扩散和分子质量相关。品质  愈小,愈易反外扩散。扩散泵抽氢的时候容易反外扩散,避免 氢反外扩散方式有二种:其一,减少扩散泵  出入口排气管工作压力,选用2个扩散泵串连来完成;其二是在扩散泵进风口管道上安裝液态氮制冷的  钛提升阱来收集反外扩散的氢