化征氮质谱检漏仪特性的关键指标值是它的漏率  度qmn(即较少可检漏率)和分压电路比灵敏度  (亦即较少可检分压电路比),它是2个在氮质谱检  仪原厂校正时需要求的较好标准下能够完成的仪  图1124氮质谓检漏仪在
輔助超滤装置中的部位  器灵敏度。可是在运用氨质谱检漏仪开展实际的检1一喷;2一被检件3一高真空泵:4一扩就  丽时,因为众多条件的不一样,因而仪器能够达  6一前面真空泵器皿2GB一低真空泵
到的灵敏度两者之间在较好标准下所测出的灵敏度不是  前面泵:8一检漏仅
会同样的。一般把仪器在应用时能够做到灵敏度称之为仪器的检漏灵敏度,该灵敏度是小于仅器  校正时需得出的灵敏度的  氨质谱检漏仪的漏率灵敏度,或称较少可检漏率,记作8m,它就是指检漏仅处在较好工  作标准下,以一个标准大气压的纯氡气为示漏汽体,开展动态性检漏时,能够验出的较少标准孔板的  漏率。这儿常说的较好标准,便是被检件排气非常少且沒有大标准孔板,仪器自身的工作中主要参数调节到  较好运行状态的标准。即仪器溢流阀彻底打开,质谱房间内为较好压力,沒有轴助超滤装置  分离,仪器本底和噪声较少,放大仪变大倍率较大 ,发送电流量和加快工作电压平稳,压力平稳  及其氮峰精确等。而动态性检漏则就是指检漏时仪器內部超滤装置依然在一切正常抽真空(并不是总计法检  漏),并且当超滤装置在稳态值不超1s的标准下,仪器的反应速度不超三秒时需开展的  检漏。较少可检漏率,则就是指仪器输出表上能够观察出来的较少的标示转变,该转变关键受无  规律性波动转变的噪声所限定。仪器的噪声是因为各种各样主要参数不稳定而造成的,外电源电压起伏  真空值转变、发送电流量转变、加快工作电压转变、放大仪特性转变及外部磁场影响等都是会造成输  出仪表盘的不稳定晃动。假如漏入的N2使輸出仪表盘的转变值低于噪声,那麼大家就难以分辨究  竟然漏汽数据信号還是噪声,因而,躁音的尺寸也就变成可否分辨漏汽数据信号的规范。因此 ,这儿所  指的“较少可检漏率”就是指造成輸出标示的变化量相当于二倍(也是有要求为一倍)噪声所相匹配的  漏率值。因而,检漏时要尽可能采取一定的有效措施减少仪器噪声,便于较少可检漏率。  在检漏仪质谱室处在压力下,仪器可验出的氦分压电路比的较少变化量称之为分压电路比灵  度,亦称之为较少可检分压电路比,记作Ymn  氦质谱检漏仪在具体检漏标准下能够做到的灵敏度称之为检漏灵敏度。因为检漏时确保不  校正仪器时需规