低温泵长期性持续运行,泵的泵效随抽气時间增加面慢慢良减,当泵效降低到原  (3)低温泵的较大 抽气容量(和抽气容量)
快,这时,必须终止运行提温再造,用于修复泵的原来的抽气丝必,出了ZDB  500型制冷机低温泵抽氢的气容量曲线图,超出饱和状态抽气容M267给  始泵效60%时,所积累抽除的总供气量称之为“饱和状态抽气容量”,图  衰减系数很

5000

5×1031×10215×1025×103×1
抽氢容量/PaL
图2-67ZDB500型制冷机低温泵抽氢容量曲线图  低温泵对不一样类型汽体的饱和状态抽气容量区别非常大,冷凝汽体的抽气容量在于  冷凝霜层的薄厚,霜层表层和超低温板中间的温度差△T与霜层薄厚呈正比例,马舍  ( Ascher)得出了沒有屏蔽掉的20K超低温板,在p=0.67Pa压力标准下,N2霜表层  合理冷凝指数与N2冷凝量的函数关系曲线图如图2-68所显示。图上,横坐标轴d为霜层  薄厚,p为霜外表温度相匹配的饱和蒸气压。依据精确测量結果,得到较大 薄厚为  1.5毫米,均值导热系数A=0.4mW/(m·K),相匹配p。的较大 温度差△Tmx=15K。若  用77K屏蔽掉隔板,当进气口压力一定时,企业冷凝面的冷凝输入功率比无屏蔽掉时要  小,因此在一定的△Tmx下,可做到更高的较大 薄厚dmx。这一結果已被艾徳尔  (Eder)等的试验确认。她们在制冷机低温泵加屏蔽掉的20K凉面上,在进气口压力  p=0.1~1Pa标准下开展冷凝气体试验,较大 薄厚做到dmx=50~100毫米,等同于60kg/m2的品质薄厚  活性碳超低温吸咐氢、氖、氦的饱和状态容量,是牵制低温泵抽气容量的关键限定因  素。所采用的呼吸剂原材料、薄厚、活性加工工艺都危害吸咐容量,各种各样吸咐原材料的较大

抽气容量可依据呼吸剂的吸附等温线明确。用以制冷机低温泵的呼吸剂以椰子壳特异性  炭较好是,温克勒尔( Winkler)在T=15K测出的对H2的动态性吸咐容量V=1.5

104Pa·L/s
(4)低温泵的起动压力  受致冷输出功率的危害,制冷机低温泵不能够在大气压力下起动,由于髙压下汽体的  对流换热和汽体的冷凝热,使超低温板达不上操作温度而不可以起动。除此之外,很多汽体  冷凝吸咐在超低温板上,也会危害泵的工作中使用寿命,低温泵一切正常起动的较大压力称之为起动压力  般用前面泵将低温泵预抽中数十帕下列,就可以起动制冷机的压力机刚开始致冷,直到制冷机的一、二级冷头做到要求的溫度  能够在起动预抽泵的另外起动制冷机,那样就可以减少低温泵的启动時间  因为中小型制冷机的致冷時间大多数在1h之上,远高于前面泵预抽低温泵

(5)低温泵的变换压力
低温泵刚开始对真空泵器皿抽气时,器皿内容许的较大压力称之为变换压力(起止压力)。规定制冷机低温泵超低温板的热容量可以承担气旋的热冲击性△H,它在于开启真空阀刚开始对器皿抽气的较大 汽体负载,依据工作经验较大 气体压力与制冷机致冷输出功率有以下关联
W
式中p—变换压力,P
V真空泵器皿容积,L
W——制冷机二级冷头(20K)致冷输出功率,W
或是用二级冷头热容量△E的试验值来测算容许的较大压力

式中△E—二级冷头的热容量,J
△H—汽体的焓差,J/mol
p—汽体变换压力,Pa;
气体体积
R克分子气体常数,8.314J/(mol·K);  T汽体溫度,K。  假定RKP400型(见表2-36)的试验值△E=300J,那麼针对1米3的器皿,根  据公式计算(2-83),其变换压力对N2为p≤160Pa  一般生产流程运用上对器皿的预抽有下列规定  ①每一次器皿曝露空气后的预挤时间应尽量短  ②尽量减少前面泵的返流物(尤其是氮氧化合物)对器皿的环境污染  ③前面超滤装置要经济发展划算  依据之上规定,变换压力应在10-2~102Pa的范畴内,运用于极高真空泵时  大多数将变换压力操纵在10-1~10-2Pa。充分考虑对油蒸汽环境污染的规定,能够采用无  油真空泵和涡轮增压分子泵、磁控溅射离子泵、碳分子筛超低温吸咐泵构成的抽气发电机组  对油蒸汽环境污染规定不严苛的中小型器皿(1米3上下),能够立即采用真空泵,并  且将变换压力提升 到40Pa,在这里压力下抽气方位的气旋可以合理地阻拦机械设备油阀  的返流。变换压力的提升 可以明显增强抽气時间  一般,生产商都是会得出不一样型号规格的制冷机低温泵的变换压力,可依据加工工艺生  产规定参照采用