扩散泵油对扩散泵性能的危害尤为重要。理想化的扩散泵  敞泵油  油应饱和蒸气压低化热低、工作中平稳、高溫下不溶解、不消化吸收汽体、有机化学性能平稳(两者之间触碰的原材料  不了反映)、安全性无毒性,可是直到现阶段,都还没研制开发出这类理想化的切削液。液态水银是  唯一的能用做泵液的氢氧化物物质,它具备有机化学性能平稳、不溶解、不融解汽体、气化  热小、加温输出功率劣等优势,较大 的缺陷是蒸汽压过高,室内温度下(300K)的饱和状态蒸  标准气压达到.5×10-Pa,务必应用冷阱收集才可以用以高真空、极高真空。选用液态氮  冷阱,也要考虑到液态水银在冷阱上的冷藏难题,假如长期性持续几日运行,就很有可能将加热炉  中的液态水银耗光而停止工作。此外,液态水银有有毒,又能与一些金属复合材料起反映,产生  非常大的安全防范难题,现阶段,除开一些科学研究组织在中小型夹层玻璃系统软件选用液态水银扩散泵以  外,全部金属材料油扩散泵所有选用石油分馏氮氧化合物和合成机油做为泵的切削液。  当代扩散泵的切削液有石油分馏氮氧化合物、脂类、聚硅氧烷及醚类。石油分馏的氮氧化合物油归属于轻原料油,生产制造低成本,质优价廉,但耐热性、抗氧化性较弱,蒸汽压较高,仅适用高真空泵。四苯基四羟基三硅氧烷(DC704)、五苯基羟基三硅氧烷(DC705)、混和五环聚苯醚( Santovac-5, Convalex-10)和全氟  甲基丙烯酸酯( Fomblin Y vac)是现阶段运用数较多的极高真空扩散泵合成机油。  表22得出了极高真空用扩散泵油的性能主要参数

高真空扩散泵油的另一个关键性能主要参数是它的催化裂解性能。泵工作中在高溫下  会产生裂化,抗氧化能力差的泵油形成的高蒸汽压裂解物,危害泵的極限工作压力。若
因为偶然事故,高溫泵油短期内曝露空气时,抗氧化能力强的泵油能迅速修复原来性  能,而抗氧化性会差的泵油,性能受到影响,乃至损毁。极高真空用扩散泵、必须长期性  持续运行的扩散泵及其日循环系统频次高的真空机器设备,都应选用催化裂解小、抗氧化性能  高的甲基硅油、聚苯醚等合成机油  精确测量泵油的抗氧化性能,可在真空系统软件内短期内不断充进空气,直至泵不可以正  常工作中时已经。扩散泵油的抗氧化性能试验频次见表2-3。
从表2-3中数据能够看得出,甲基硅油的抗氧化性能出色,安全性性能好, Solbrig曾  将系统软件内氧气工作压力提升到1/2atm(1atm=101325Pa),应用DC705和五环聚苯醚  这二种油,都不容易造成发生爆炸。除此之外,甲基硅油耐温性好、抽水蒸汽工作能力强、返油率低  价钱适度,是极高真空油扩散泵较为理想的切削液。甲基硅油关键的缺陷是在电子器件、离  子负电子标准下粘附在电级上的浮油会造成固态汇聚硬膜,危害电子元器件、电级的性  能,并使真空水解规管数据误差扩大。甲基硅油的爬移工作能力强,非常容易环境污染系统软件。不可以使  用甲基硅油的系统软件中,可改成五环聚苯醚、癸二酸氢酯等油替代  全氟甲基丙烯酸酯油( Fomblin)是由碳、氟和氧构成的化学物质,不过氧化物和硅,具备低  的蒸汽压和优良的润化特点,耐热性更强,热裂解时既不容易形成氮氧化合物和氢,  也不会形成硅化物绝缘层膜,与大部分腐蚀化工品不了反映,但在同样加温输出功率条  件下,泵效较五环聚苯醚低,而且价钱偏贵。其关键物理学性能见表2-4。
无论应用那一种切削液,扩散泵工作中时必须需注意不可以放进空气,不然,氧  化过的泵油,危害泵的極限工作压力。比较严重空气氧化的油,只靠泵本身的分馏功效,不可以恢  复它的抽真空性能,必须完全清理扩散泵全部零件,所有拆换新油。常见清洁液,对  空气氧化比较严重的泵油可先后应用十氢萘、甲苯和医用乙醚开展清理或是应用三氯乙烯、甲苯  和医用乙醚。空气氧化较轻则,用甲苯、医用乙醚就可以清理整洁。聚苯醚油可溶解三氯乙烯,  因为三氯乙烷毒副作用较三氯乙烯小,清理聚苯醚油时可改成三氯乙烷、甲苯和医用乙醚  全氟甲基丙烯酸酯油务必用氧化铋剂(如三氯三氟己烷或全氟烷)开展清理。

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