涡轮分子泵压缩比  式(2-21)说明较大 压缩比规定顺向和反方向传送几率之比理应较大 。克鲁格和  夏皮罗用蒙特卡洛法测算12和2与叶片视角a、叶片间距和旋长之比5/b及其叶  片与汽体分子结构较可几速率比C=w/√2RT/M的函数关系见图2-20,并得出了零流  量标准下单极涡轮叶片的压缩比的测算值。在s/b≤1.5直线地区，压缩比的多数  值与叶片速率比类似呈线性相关

(222)  exp/v√M  K

aRT  由式(2-22)能够看得出，压缩比与叶片速率vBM2呈指数值关联。对氢、氦等轻  的汽体压缩比不大，对氩等重的汽体压缩比大。若叶片速率做到400M/s时，对氩  和氢的速率比各自为1和0,3。此标值，在图220(c)a=30°曲线图中相匹配的压缩比  各自为对氢为1.6,对氩为4。叶片的角速度与叶片半经、电机转子的角频率呈正比例  (vB=ru),叶片顶端角速度大，挨近电机转子管理中心，角速度和叶片间距与弦长之比均  小。从叶片顶端到传动轴管理中心地区，分子泵的压缩比慢慢减少。因而设计方案分子泵的开  般在半经的1/3处。涡轮分子泵在零总流量的较大 压缩比只产生不在抽真空  槽深层  的情况下，在具体工作中时不太可能保证。而公式计算(2-22)得出的压缩比与叶片速率、几  何样子及含量的指数值关联依然恰当。评测的K值与M平方根关联，示于图  2-21中。

压缩比试验曲线图的测试标准是较先将分子泵抽中極限工作压力，关闭前级保持泵，  随后将汽体根据溢流阀放进分子泵的前级，慢慢上升前级工作压力，测到的前级工作压力与
進口工作压力之比做为泵的压缩比。伴随着前级工作压力不  断上升，挨近前级的叶片组较先进到过渡流，进  入黏滞流范畴时汽体摩擦阻力扩大，使电机转子的转速比减少，压缩比快速减少。涡轮分子泵的压缩比与前级工作压力的关联曲线图见图2-22。压缩比曲线图样子类似扩散泵的極限工作压力曲线图。一般将压缩比减少20%做为分子泵極限前级工作压力，超出極限工作压力时，泵的压缩比快速衰减系数。过高的前级工作压力(比如忽然曝露空气),很有可能使邻近叶片因机械设备撞击而毁坏

涡轮分子泵抽速  在分子结构流范畴内，因为出射到泵进风口的气

0

10  10

10  体分子数与分子结构的热运动速度正相关，因此 ，叶

前级工作压力  片的净抽速与撞击分子结构的含量不相干，也与工作压力
图2-22涡轮分子泵的缩小  不相干，其较大 抽速Smx与泵的特点几何图形样子要素

比与前级工作压力的关联曲线图  G和叶片圆上速率vB的相乘正相关。

2-23)  max~UBG(中)  较好设计方案的涡轮分子泵的抽速大概正比例于转速比。选用新材料，涡轮分子泵的  评测抽速与被抽汽体相对性分子质量的关联示于图223。其对轻汽体的抽速要比例  汽体的抽速稍高一些。涡轮分子泵抽速曲线图的髙压端，抽速随進口工作压力上升而降  低。从抽速的平整一部分到前级泵抽速的衔接区，一般要跨过三个量级(10-5~  10-2Pa)。当入口工作压力上升到汽体分子结构的平均自由程低于出入口叶片盘的叶片中间  1/10间距时，抽真空特性刚开始受到影响。扩大涡轮分子泵前级泵的抽速，可改进涡轮分  子泵在高工作压力端抽速曲线图，图224中曲线图I、Ⅱ、Ⅲ各自为配备不一样抽速的前  级泵的涡轮分子泵在高工作压力端抽速曲线图。一般涡轮分子泵与前级泵组成时，二者  中间的抽速比K=S分/S前在50~100中间，若用以抽除氡气，必须配备更高的前  级泵，针对大中型涡轮分子泵而言，采用罗茨真空泵真空泵抽真空级组是较经济发展的前级抽  气系统软件。
图25所显示为典型性的涡轮分子泵抽速曲线图，曲线图样子与扩散泵的抽速曲线图相  似。分子泵的抽速是因为叶片速率和汽体分子结构抵达并进到叶片空隙的流导的相互作  用所决策的，在分子结构流范畴内，则抽速有一跨过接近五个量级的平整一部分。对氢  的抽速稍大的缘故是因为含量不一样的汽体，在泵的通道叶片的流导和传送几率不  同。针对除氢之外的别的汽体，抽速基本相同，由于流导反比例于含量的平方根，  而传送几率大概正比例于含量的平方根，使二者互相相抵

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