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弯注抑制规如图4-3所显示,由负极、电子器件加快栅极(加快极)、离子聚焦点极、 輔助阳极氧化、抑制极、离子搜集极、内偏转极、外偏转极和屏蔽罩构成。由负极、电 子加快栅极组成规的水解系统和由屏蔽罩抑制极和离子搜集极组成离子搜集系统。 在水解系统和离子搜集系统中间,设定了一个90°离子偏转系统,偏转系统包含聚 焦极,内、外偏转极。 规的原理为:规管中被测汽体分子结构在栅极框被水解为正离子,离子被离 子聚焦点极引出来并聚焦点后经静电感应偏转系统偏转90°后进到离子搜集系统。该构造使 加快极造成的软X射线不可以立即照射搜集极的表层,另外x放射线的反射面一部分 也因历经数次往返才可以到达而大幅变弱。此外,因为有屏蔽罩和抑制极的存有, 还能够对小一部分软X射线造成的光电流开展抑制,使光电流的危害进一步减少 在理论上弯注抑制规的精确测量低限比抑制规低2个量级,做到10-12Pa。但因为 高溫钨丝存有,负极的蒸汽压和排气速度都很有可能危害低于10-1Pa工作压力的得到 。 除此之外,极间电级走电及弱电流量精确测量等难题,弯注抑制规的具体精确测量低限为 10-1Pa。輔助阳极氧化的功效是供偏转电级开展电子器件负电子除气而用。除气输出功率约为 700V×200mA。 现阶段,弯注抑制规是极高真空泵规中较好是的一种规型,特性平稳靠谱。在沒有极 高真空泵校正系统标准下,大多数以弯注抑制规的读值做为工作压力标准值。 弯注抑制规的电主要参数一般挑选为:加快工作电压VA=200V;负极对地工作电压VK 25V;V
450V。Vc=Vsh=VE=0(地电位差)。钨丝发送电流量 340V: VD 。=1mA;规管指数为0.15Pa-
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