涡轮分子泵的極限压力p1能用泵出入口压力p2除于泵的压缩比K获得，即(2-24)  K  涡轮分子泵的K值，随含量的提升而扩大，它对油蒸汽的压缩比尤其大  因此可以得到 氮氧化合物环境污染较少的清理真空泵，但针对轻的汽体如氢的压缩比却很 低，因此 前级氢分压电路是影响泵的極限压力较重要的要素，氢的分压电路关键来自前级 真空泵运行时油裂化造成氢的影响，不一样型号的前级机械设备油阀，对分子泵的極限压  力的影响遥远超过泵轴承润滑油的影响。高压缩比的分子泵，历经烤制后能得到   1×10=6~1×10-9Pa的真空值，氢占残留汽体成份的90%之上。

​

图227所显示为泵效为200L/s的涡轮分g  子泵其前级压力p1对泵的極限压力pm的影响。1能够看得出，前级压力从1Pa扩大到130Pa时，泵的極限压力不会受到影响，当前级压力从65Pa提前级压力高到130Pa时，泵的極限压力从4×105Pa增  加进2×10-3Pa，前级压力从130Pa再次提升 到200Pa时，泵的極限压力快速扩大三个量级，  这时受泵的抽真空叶列中汽体流动性情况转变的影响，泵的压缩比从K=104降至  K=102。