阿特拉斯真空泵是一种非常重要的真空设备。根据产生真空的原理，可分为：容积式真空泵(如液环泵、螺杆泵、罗茨泵等)；动量传递真空泵(如分子泵：喷射真空泵：扩散泵)；气体捕集真空泵(如钛升华、锆铝合金吸泵，低温泵溅射离子泵，热蒸发钛升华泵等)。

真空通常由专用抽气机获得，其气体稀薄度用真空计测量。利用分子和扩散式气体抽提器可以获得大气压为1×10-14pa的高真空度。真空技术广泛应用于芯片制造、太阳能电池制造、光学薄膜制造、电真空仪器、电子管等电子仪器中。

阿特拉斯真空泵常见的几种类型有哪些？它们各自的发展趋势又是如何的？

1、水环式真空泵是一种变量泵，它能用于易燃、易爆、腐蚀性气体以及含尘、潮湿气体。本实用新型结构简单，维修方便，磨损小，安全性高，输送气体无污染。水环泵的主要原材料是铸件，加工简单，属于劳动密集型产品。因此，与进口泵相比，具有价格优势，目前应用范围广。目前，国内生产企业应主要从减重、体积、能耗、效率等方面改进产品。

2、旋片式真空泵是基本的真空获取设备之一。它是一种油封式机械真空泵，适用于真空包装、真空成型、真空抽吸等密闭系统中的气体抽取，具有体积小、重量轻、噪音低、真空度高等优点。旋叶泵在技术上已达到标准，价格远低于进口泵，具有一定的竞争优势。目前需要解决的主要问题是叶片材质、轴封漏油等问题，以及抽汽叶片泵的研制。

3、滑阀式真空泵是一种油密封的变容积真空泵，可用于抽取一般气体或含有少量气体的可冷凝气体。与旋片式泵相比，具有工作压力高(104pa)、抽气量大、在恶劣工况下使用、经久耐用等优点。主要用于真空熔炼、真空干燥、真空浸渍、真空蒸馏等领域，由于铸造工作量大，加工工作量大，许多国外厂家希望与国内真空泵企业合作。为了加快进口产品的更新换代，国产滑油泵需要在降低振动和噪音、防止喷油和漏油等方面对其产品进行优化。

4、干式螺旋真空泵是一种较新的阿特拉斯真空泵系列下的设备，具有可靠性高、寿命长、动平衡性能好、适应性强、多相混输等特点。它能去除腐蚀性、有毒、含尘气体和可冷凝蒸汽等气体。干泵有着广泛的应用，包括半导体工业、化学工业、薄膜工业等，这三个行业的需求是推动干式泵市场的主要动力。在欧美半导体行业，约有一半的企业采用干式真空泵代替油封式机械泵。我国半导体行业主要采用进口干式泵。因此，应加强国产干式真空泵的研发，使之成为我国真空行业新的经济增长点。