爱德华Edwards无源真空计和控制箱

Edwards PRG20K - 皮拉尼真空计

皮拉尼真空计具有三种型号。PRG20K-NW16 Al是一款钨丝的铝制传感器。PRG20KDN16CF SS是一款钨丝的不锈钢传感器，可过压使用。PRG20KCR-NW16 SS是一款使 用铂丝和陶瓷真空电馈穿通密封件的不锈钢传感器，非常适合腐蚀性工艺和含水 蒸气环境使用。 

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Edwards CPG35K - 潘宁真空计

潘宁真空计具有四种型号。四种型号的测量范围均为1x10 ^{- 9} -10 ^{- 2} mbar（0.75 x 10^-9 - 10^-2 Torr），且对空气冲击和振动不敏感。根据潘宁真 空计的工作原理，这些无源传感器采用冷阴极电离技术，阴极板可更换。 钛阴极的使用提高了真空计的点火性能。CPG35KB烘烤温度可达200 °C 。

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Edwards IG40 - 电离真空计 

B-A 和分离真空计采用热阴极电离技术，均具有高精度的单独校准传感系统和可更换的阴极。B-A型真空计的测量范 围为10^-2 - 2 x 10^-11 mbar（1.5 x 10^-11 Torr），具有焊接的保护罩。分离型真空计的测量范围为10^-4 - 2 x 10^-12 mbar（1.5 x  10^-12 Torr），同时显著降低了X射线和离子解吸效应。

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